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國產(chǎn)光刻機項目用了他們的光源解決問題

原創(chuàng)文章 發(fā)布人:大河網(wǎng) 發(fā)布時間:2022-03-10 22:22

從正面看去,一個比例被放大數(shù)十倍的立體玉龍躍然眼前,可當你伸手去觸摸時,卻只碰到了空氣,2月22日,在位于新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)新東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)的百合光電. 讓我們感受到了裸眼3D懸浮成像技術這一“黑科技”。

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實現(xiàn)了微米級別光刻光源系統(tǒng)的國產(chǎn)化量產(chǎn)

除了上述裸眼3D懸浮成像技術,在百合光電,太陽光模擬系統(tǒng),讓人即使身處暗室也能盡情享受“日光浴”;深紫外輻照模擬設備,可以模擬太空光照環(huán)境,被用于建造衛(wèi)星的材料篩選環(huán)節(jié)……

“這些只是我們研發(fā)路上的‘副產(chǎn)品’,今年國內(nèi)的一家新能源汽車品牌參加車展時,也會用到這項技術。”百合光電總經(jīng)理、英國南威爾士大學光電工程學博士說,在研發(fā)光刻光源的過程中,該企業(yè)掌握了高精度的光學元件加工技術,實現(xiàn)了微米級別光刻光源系統(tǒng)的國產(chǎn)化量產(chǎn),產(chǎn)品品質(zhì)達到了國際領先水平,“捎帶”著生產(chǎn)出一系列“黑科技”產(chǎn)品。

“無論是懸浮感、對比度、分辨率,還是生態(tài)環(huán)保、使用壽命、綜合成本,我們的產(chǎn)品都經(jīng)得起市場的競爭和考驗?!睆埐┱f。

研發(fā)生產(chǎn)過程中,深深感受到了被“卡脖子”的痛苦

2016年,一支6人科研團隊,來到紅旗區(qū)新東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū),注冊成立公司,開始了光刻光源的研發(fā)?!把邪l(fā)生產(chǎn)過程中,深深感受到了被‘卡脖子’的痛苦,比如很多生產(chǎn)設備的部件,反光碗來自日本,還有的來自美國,那時我們無法完全實現(xiàn)‘中國造’。”

光刻、曝光設備是國家的戰(zhàn)略裝備,技術門檻高,投資大,周期長,而光學就是其中的核心難點之一。我國該領域起步晚,經(jīng)驗少,市場化的產(chǎn)品更是差距巨大。目前,雖然我國90納米的設備已經(jīng)驗收,正在攻關28納米的光刻機,但在市場上,就算是微米和亞微米級別,國外品牌依然是主流。“為助力半導體裝備產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)國產(chǎn)化,不再被光刻光源‘卡脖子’,我們每年拿出企業(yè)年產(chǎn)值的20%~25%作為科研經(jīng)費,與各大高校建立戰(zhàn)略合作,從市場需求出發(fā),定位技術攻關方向,聯(lián)合培養(yǎng)人才,實現(xiàn)項目產(chǎn)業(yè)化。”張博說。

近幾年,百合光電開發(fā)了系列UV-LED光源系列產(chǎn)品,繞過了國外在超高壓汞燈、恒流源等領域建立的產(chǎn)業(yè)壁壘,在節(jié)能、環(huán)保、降低成本、提高品質(zhì)等方面全面超越傳統(tǒng)汞燈,符合國家碳達峰、碳中和的遠景目標,實現(xiàn)了產(chǎn)品指標國際領先。在集成電路、液晶、線路板、LED等行業(yè),百合光電已經(jīng)成功開發(fā)并產(chǎn)業(yè)化了30余款系列產(chǎn)品,實現(xiàn)整機國產(chǎn)化。

正式成為中芯國際光學元器件的戰(zhàn)略供應商

“酒香不怕巷子深”。中科院牽頭的國產(chǎn)光刻機重大項目,采用的是百合光電提供的光源模組;作為國產(chǎn)光刻機民企“龍頭”的大族激光,選用了百合光電生產(chǎn)的整套曝光系統(tǒng);去年6月起,百合光電向半導體龍頭企業(yè)中芯國際保質(zhì)保量供應了光學零部件,前幾天正式成為中芯國際光學元器件的戰(zhàn)略供應商……

近5年,百合光電以年均增收20%的速度健康發(fā)展,未來兩三年,預計年產(chǎn)值、利潤增幅均將超過100%?!拔覀儗⒗^續(xù)探索和開創(chuàng)更多光的可能性,大力投入健康、環(huán)境、綠色、娛樂等產(chǎn)業(yè),研發(fā)出更多更好的新產(chǎn)品。